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之所以孙祖杰这么牛B轰轰。敢做这样的赌博。就是因为孙祖杰在八十年代投资启动研究的J款激光器。尤其是arf?193n激光器终于在1997年开发成功。这是一个具有战略意义的重大突破。
而最先进的极紫外光euv技术。华国经过长期不懈的攻关。目前也已经取得了不少的成果。
之所以在光源上取得突破。原因就是华国的激光技术一直处于世界一流水准。有了不少投资。又有了明确的方向。取得发展是必然的。
华吉光电所搞出的激光器虽然功率低了一些。但是勉强可以使用。这也迫使倭美两国不得不陆续放弃了对华国在这一领域的技术封锁。
孙祖杰对他们取得的成功非常高兴。华投紧接着又拨给他们一千万华元资金。要求arf?193n激光器必须达到西方同等水平。
但是光源只是光刻机一小部分。作为最尖端的机电一T化产品。华国自产的光刻机最大的问题就是套刻精度不够和生产效率不行。
套刻精度与光刻分辨力密切相关。如果要达到010μ的光刻分辨力。根据33法则要求套刻精度不低于003μ。
套刻精度主要与工件台和掩模台定位精度、光学对准精度、同步扫描精度等因素有关。定位精度、对准精度和同步扫描精度分别约为套刻精度的1513。即0006001μ。
而提高生产效率是光刻机实现产业化的必要条件。为了提高生产效率。必须优化设计激光器输出功率、重复频率、曝光能量控制、同步扫描等各个技术环节。并采用先进技术尽量减少换P、步进和光学对准等环节所需时间。
要想能够完善所有环节。必须用漫长的时间去摸索。调试。这就需要大量的投资。虽然欧派微芯出钱。各大学和J大光学所出技术。花了无数的钱。但是因为华国整T工业实力的不足。华国国产光刻机为了提高套刻精度。还是不得不降低生产效率。
华国九十年代研发的1微米前道光刻机相比于进口产品。效率一直差得比较多。就是这个原因。所以为了提高生产效率。孙祖杰很早就想到了阿斯麦的双工作台。
双工作台系统。使得光刻机能在一个工作台进行曝光晶圆P。同时在另外一个工作台进行预对准工作。并在第一时间得到结果反馈。这样生产效率可以提高大约?35。精度提高?10以上。
但是双工件台系统虽然仅是加一个工作台。但技术难度却不容小觑。对工作台转移速度和精度有非常高的要求。
华国工程师从磁悬浮技术得到启示。利用华国在永磁T领域的领先。正在全力开发磁悬浮工作台。目前实验研究已经有了不小的突破。实验发现精度确实有了不小的提高。
现在有了193narf光源。有了浸没式光学镜头。又有了双工作台的突破。专家们经过研究认为根本没有必要再跟着西方的技术路线亦步亦趋。欧派微芯完全可以直接攻关01微米左右线程的浸没式光刻机。
因为使用?193narf光源的浸没式光刻机。波长直接缩短为134n。这样新型光刻机可以直接从01n左右线程起步。再通过光学邻近效应矫正等技术后。其极限光刻工艺节点甚至可达?28n。
要知道在1997年。此时主流的光刻机线程也不过025微米。采用的还是krf248?n光源。而倭国正在研发的193nG式光刻机线程也仅仅是018微米。下一步才是013微米。90n。
也就是说采用另外一条技术路线的华国人有3到5年的宝贵追赶时间。有这个时间应该有机会取得突破。
只要这款光刻机被攻克。华国就很可能实现弯道超车。为此赌一把绝对是值得的。毕竟华投有了相应的技术积累。
除此之外。还有一个好处。那就是193nG式光刻机到了65n左右时。差不多快到极限了。而采用华国路线。线程可以直接到达30n左右。都问题不大。
所以到达这段线程区间时。欧美要么更换光源全部推倒重来。要么与华国J换技术。前者需要大量投资。而后者有现成的技术。到时候除非资本家脑子短路了。否则他们一定会与华国J换专利。因此华国的技术路线。明显才是未来。那么现在投入再多。也是值得的。
就在1998年初。更换了身份之后的孙祖杰。以华投决策小组组长的身份。出席了新型光刻机的研发动员大会。林先生也参加了这次动员大会。
这J年林先生的研
究团队精力都放在天翼那条05微米芯P生产线的调试和改进上。并没有权限知道华投在光刻机领域的那些秘密。
经过J年的合作之后。林先生的研究团队已经被认可。所以今天他才有资格出席今天的动员大会。参与到这款代表未来的光刻机研究。
林先生听着长吉光电所的同志公开新型光刻机的技术方案。简直不敢相信自己的耳朵。
什么时候内地已经攻克了浸没式光刻机。而且有了不止一代产品。那就说明他们很早就有这个思路。并已经实现。可是他们为什么又一直保密。没有对外公开
不过转而一想。林先生也意识到了什么。这些年内地的半导T工业一直在追赶。而且速度很快。
九十年代初就宣称弄出了1微米光刻机。而到了95年已经攻克了05微米光刻机。所以欧美相继对华国解禁了一部分技术封锁。恐怕就是他们浸没式光刻机的效果。怪不得华国人一直对自己的国产光刻机极端保密。不愿意对外公开。原来是这个原因。
这样一来。他的兴趣猛然间大了很多。他怎么也没有想到他的思路竟然在内地已经成型。这太让人兴奋了。
尤其是当他知道孙祖杰根据他八十年代的论文。才启动的研发时。更是高兴的不得了。
“孙总助。墙里开花墙外香。我们华人能够有这样的追赶机会。而且我还在其中起到了一些绵薄之力。真是与有荣焉”
孙祖杰笑着点点头。林先生提出理论。内地科学家研发出来。然后还把理论提出者请过来帮着研究。这是一件多么让人幸福的事情呀
J年以后。华国一旦取得突破。到时候就热闹了。美帝要么选择华国路线；要么选择倭国路线。无论哪一点都是他们不乐意的。而且无论哪一点都没有桃花岛的份。
这样一来。桃花岛在芯P代工业领域的领先将会受到很大的限制。这也为华投的追赶铺平了道路。
光刻机一旦突破。就意味着电子产业的制高点被华国突破。华国将更加从容更加自信的开展其他芯P制造设备的研究。为此就算这四百亿华元花光了也是值得的。
而光刻机领域的一些技术成果。同样可以应用到其他领域。比比如联合船舶。他们的造船技术进步很快；比如华夏重工。他们根据俄罗斯的技术转移和华投的一些研究成果。已经研究出第一代华国五轴中心。
尽管第一代产品精度有些欠缺。但已经解决了相当一部分军工领域的需求。华夏重工的技术突破。对于华国的军工制造业和重大装备制造业的意义重大。
所以孙祖杰才非常有底气的拒绝继续给军产部资金。而且对这一类特殊商品提出了非常高的报价。有本事你们可以不买呀。
在九八年的年初。经过J次C讨。确信已经得不到拨款的军方大佬们对此十分恼火。但是研究之后又不得不妥协。
原因就是军工要发展。必须要购买华夏重工大量的高X能机床。这是此时华国唯一的供货商。而这类机床想进口更是门都没有。
而且不仅仅华夏重工。欧派微芯和联合超算也牛得一塌糊涂。军工所必须的多款高端芯P。他们也必须依赖欧派微芯的制造。另外还有一些特殊涂料。他们的报价正好卡在点上。让你气得半死。还不买不行。
军方的大佬们迷H了。什么时候华投已经发展到这种程度。可以要挟军方了越想越窝火的大佬们。对着总装领导大发牢S。你们也太不争气了。搞军工的竟然技术不如搞民品的企业。你们到底是G什么吃的。
总装的领导有些苦涩。尽管这两年拨款多了不少。但缺课太多了。他们只能把有限的资源投资到最重要的领域。
军工芯P和高精尖的机床制造只能依赖于华投。而且不仅仅是现在。未来这种依赖X可能更加严重。
因为华投现在的科研投入太大了。他们的科研经费又不打一点折扣。使用效率比军工系统高了很多。这样一来。未来华投系企业很可能比军工系统的同类型企业要强大的多得多。
所以总装领导无奈的告诉军方的大佬。咱们手下的那些亲儿子已经远不如送出去的这群野孩子。对华投系企业现在不仅要一碗水端平。而且还要更加重视。不然华投的幺蛾子会越来越多。现在孙祖杰找茬。只是要求一碗水端平。已经很不错了。习惯就好。习惯就好。??647547956群号